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產品與服務 / 真空泵

六十載真空行業深耕細作
二十年干泵領域砥礪前行

國內唯一一家能夠研制生產出滿足集成電路行業需求的干式真空泵制造企業,產品目前已在國內多家知名集成電路和光伏巨頭企業通過工藝驗證并批量使用。

集成電路領域重要設備的自主可控

打破了歐美及日韓企業對同類產品的長期壟斷地位,實現集成電路產業核心零部件國產化“0”的突破,為全產業鏈國產化的貫通奠定了重要基礎。

企業介紹

技術突破

公司針對干式真空泵小型化、低能耗、高轉速、耐腐蝕、耐粉塵的需求特點進行研發攻關并取得技術突破,
現已實現在 12 英寸集成電路制造工藝的成熟使用,實現了產品較高程度的可靠性、穩定性、一致性。

產品優勢

整機高可靠性

產品優勢

穩定的運轉性能

產品優勢

高清潔度的真空環境

產品優勢

自適應智能控制

產品優勢

工藝安全性

產品系列

羅茨干式真空泵

針對集成電路的薄膜沉積、刻蝕、離子注入制程(約占主要工藝過程的 70%),研發三大系列干式真空泵產品。 

螺桿干式真空泵

渦旋干式真空泵

應用領域

APPLICATION AREA

干泵客服中心

SERVICE SUPPORT

沈陽科儀的干泵客服中心業務分為技術支持與售后服務兩個板塊,共同專注于提供客戶各種解決方案以滿足客戶的技術與生產需求。
為了提供更優的服務體驗我們在不斷的努力。

產品優勢

技術支持

技術支持組集結了平均行業經驗大于10年的半導體
以及光伏行業的專家,
致力于針對不同工藝需求提供最優的真空解決方案。

產品優勢

售后服務

售后服務組提供全方位的安裝,調試,
日常維護保養,故障解決與跟蹤服務。
我們同時提供人員駐場服務以及時有效的解決客戶端問題,
以及全天候7*24小時的on call 服務以滿足客戶的產能需求。
售后電話:024-23826869 13889237273

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